DUV 深紫外波前傳感器

Hartmann - Shack 夏克-哈特曼DUV 深紫外波前傳感器/波前分析儀是用于紫外UV和深紫外DUV激光束性能的綜合表征，對激光輻射傳播行為預(yù)測以及光束質(zhì)量因子M2的確定，從同時(shí)記錄強(qiáng)度和相位分布等，可以通過菲涅耳-基爾霍夫積分計(jì)算沿光束路徑的任何位置，特別是焦平面。

系統(tǒng)基于微透鏡陣列，將入射波分散成大量的次級光波。用相機(jī)檢測每個(gè)獨(dú)立聚焦點(diǎn)的強(qiáng)度和位置，通過單次測試便能重構(gòu)光束剖面和波前。

主要功能

        光束傳播特性（NIR近紅外、VIS可見光、UV紫外光、DUV深紫外、EUV極紫外）

        基于ISO光束參數(shù)分析

        M2光束質(zhì)量因子實(shí)時(shí)測量

        聚焦性能檢測

        光學(xué)測試/Zernike分析

主要特點(diǎn)

        單次測試可獲得所有光束參數(shù)

        光譜范圍: 1100nm~1nm

        動(dòng)態(tài)范圍：up to 100λ

        靈敏度：<100pm

        多種規(guī)格微透鏡陣列和相機(jī)可選

        客戶方案定制

光束測試軟件

測試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)