波前曲率傳感器

夏克哈特曼波前傳感器（Shack-Hartmann Wavefront Sensor, SHWFS）是一種基于子光束分割的波前探測(cè)設(shè)備，其核心原理是通過微透鏡陣列將入射波前分割為大量子光束，每個(gè)子光束經(jīng)微透鏡聚焦后在探測(cè)器（如 CCD、CMOS）上形成光斑；通過測(cè)量光斑相對(duì)于無畸變時(shí)的偏移量，可反推原始波前的畸變形態(tài)（基于幾何光學(xué)中 “波前斜率與光斑偏移成正比” 的關(guān)系）。這種原理使其在實(shí)時(shí)性、空間分辨率和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性上具有顯著優(yōu)勢(shì)。

主要特點(diǎn)

        壓電驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺(tái)，裝配CCD相機(jī)

        光束方向快速移動(dòng)

        臨近位置光束剖面/形貌分析

        波前推導(dǎo)CCD像素級(jí)分辨

        光束傳播參數(shù)分析（M2、瑞利長(zhǎng)度、束腰直徑）

        Zernike分析畸變控制

        采用自我參考法

        無光束相干要求

        緊湊式設(shè)計(jì)，在線檢測(cè)

操作原理

技術(shù)規(guī)格

        CCD相機(jī)USB3.0通訊

        空間分辨率<10um

        多種傳感器覆蓋光譜范圍：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

        實(shí)時(shí)波前分析

        測(cè)試依據(jù)ISO標(biāo)準(zhǔn)

光束測(cè)試軟件

測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)