桌面型納米壓印機(jī)(CNI)作為一款緊湊型設(shè)計(jì)納米壓印系統(tǒng),主要用于實(shí)現(xiàn)納米/微米微觀結(jié)構(gòu)從模板到樣品的復(fù)制。同時(shí),CNI 在標(biāo)準(zhǔn)熱納米壓印基礎(chǔ)上,可升級紫外(UV)納米壓印功能。
基于簡潔的操作過程和直觀的用戶界面,CNI 無需技術(shù)人員操作管理。任何壓印腔室可容納的模板均可使用。
壓印線寬可達(dá)20nm。
? 桌面型納米壓印設(shè)備:兼容熱壓印和UV紫外壓印模塊;
? 便捷實(shí)現(xiàn)微觀結(jié)構(gòu)的熱壓印和熱壓花和微接觸印刷工藝;
? 簡單直接的操作方式,無需專業(yè)訓(xùn)練;單次壓印操作僅需8~10min;
? 即插即用,使用方便;
? 壓印過程完全通過計(jì)算機(jī)程序化控制;
? 隨時(shí)傾聽用戶的意見和需求;
主要技術(shù)指標(biāo)
? 熱納米壓印溫度可達(dá)200°C(可升級至240°C);
? 陶瓷模板載具集成溫度控制模塊,準(zhǔn)確控制壓印過程溫度;
? 紫外納米壓印紫外光波長365nm;
? 壓印用壓強(qiáng)范圍:0.3bar-11bar;
? 壓印用真空:可低至1mbar;
? 模板及樣品尺寸可達(dá)4inch,可升級至8inch;
? 可使用各種規(guī)格、形狀的模板和樣品;