CNI 桌面型納米熱壓印系統

桌面型納米熱壓印系統，針對大學實驗室、研究所微納米加工研究設計，配備精密的溫度控制和低壓控制系統，使用方便，性能穩(wěn)定可靠；同時配合壓印模板，可實現各種微納米圖形加工，特征線寬小于20nm；

主要特點
    ? 桌面型設計；
    ? 熱壓印技術；
    ? 模板整合溫度控制；
    ? 快速升溫、快速降溫，縮短熱循環(huán)加工周期；
    ? 低壓控制技術；
    ? 自動壓入、脫模設計；
    ? 適用于各種微納米加工研究（2inch~4inch，其他定制）；
    ? 特征線寬小于20nm；

安裝要求
    ? 真空0.4 to 0.8 bar（實驗室真空要求），流速至少1mL/min；
    ? 壓縮空氣或壓縮氮氣6-10 bar；
    ? 電源：110-240V (50-60 Hz, larger than 200W)。

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