CNI 桌面型UV納米壓印系統(tǒng)

桌面型UV納米壓印系統(tǒng)，針對大學實驗室、研究所微納米加工研究設計，配備精密的溫度控制和低壓控制系統(tǒng)，使用方便，性能穩(wěn)定可靠；同時配合壓印模板，可實現各種微納米圖形加工，特征線寬小于20nm；

應用領域

光學器件，顯示器，數據存儲，生物技術，半導體芯片，化學合成，新型材料等。

技術性能

    ? 操作方便：對熟悉半導體工藝的人來說，幾小時的培訓就能完全掌握設備的使用

    ? 未來有升級功能

    ? 客戶可根據需求定制設備功能

    ? 用戶通過觸摸屏來程序化控制處理過程；

    ? 用戶可自主設定工藝參數；

    ? 真空吸附模板和Wafer

    ? 具備UV固化功能

    ? Wafer尺寸：4英寸；

    ? 壓印尺寸：2英寸；

    ? 壓印壓力：0~25PSI（可升級到100PSI）
    ? 模板尺寸：5×0.09英寸
    ? 典型壓印時間：小于5分鐘/wafer

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